第62章 我无条件支持
自从5nm光刻机,正式进入总装阶段后,401研究所里,处处都是忙碌的身影,举目之内皆是热火朝天的场景。
“林燃教授,第一套反干涉光栅调整完毕,下一步请指示……”
“林燃教授,振动波分析装配成功,下一步请指示……”
林燃站在总装配车间,在组装得将近有九成模样的光刻机面前,不断的来回穿梭。
光刻机从头到尾将近16米长,就在不断的来回走动,突然手机跳出一个运动步数已达10000步的消息。
让人有些忍俊不禁的是,围绕着林燃听得津津有味的‘学徒’,都是各个领域内泰山北斗级别的院士。
突然,负责物镜系统的田中天院士举起手,发问说道:“在物镜系统与能量滤波器之间,光栅的干涉波函数,将会直接影响晶圆硅片的蚀刻精度。”
“蔡司的制裁,导致满足5nm光刻精度的物镜系统,夏国有且仅有这么一套,所以物镜系统绝对是不能出错的。”将手放下后,田中天院士心平气和说道:“所以,我建议物镜系统不上装配,而是电脑模拟,确保万无一失之后,最后才进行总装。”
林燃咧嘴一笑,在所有院士中,田中天院士与他矛盾最大,不过林燃从未怀疑过一名院士为国效力的决心。
“田院士,高瞻远瞩。”微微一笑,吩咐小徒弟顾倾城从公文包里拿出厚厚一匝纸,厚度跟田院士手里的保温杯一样高,上面第一页就是密密麻麻的偏微分方程和三角函数曲线。
林燃拿起一根笔,没有一页一页的过,翻到那些折角做记号的页数,现场验算一些重要参数。
“等一下,我缓一缓……”
不止是田中天,王青云孙云天等院士都喊停,他们这些院士的脑袋,竟然有些跟不上林燃的节奏。
看了有些显得有些吃